解説記事

真空とは何か、圧力単位の換算、真空度の分類と用途を学びます

粘性流、中間流、分子流の分類とクヌッセン数による判定方法

コンダクタンスとスループットの定義、直列・並列合成、オリフィスの計算例

円管、環状管、矩形ダクトなどの計算式と適用条件の解説

ポンプの排気速度が配管でどれだけ損なわれるかを定量的に理解する

手計算とツールを使った具体的な計算ウォークスルー

分子量・粘性係数・平均自由行程がコンダクタンスに与える影響

円管以外の断面形状を扱うときの考え方と落とし穴

動作圧力範囲と排気原理から見るポンプの使い分け

ガス負荷の考え方、アウトガスレート、Heリークテストの基礎

隔膜真空計・ピラニ・電離真空計の原理、測定範囲、ガス種依存性

見かけの面積では測れないガス放出源 — 陽極酸化皮膜、鋳物、樹脂、仮想リーク

RIEエッチャーを題材に、バッフル板を含むコンダクタンス合成・実効排気速度・到達圧力・プロセス圧制御・粗引き時間を一貫して計算する